发明名称 PLASMA FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03123022(A) 申请公布日期 1991.05.24
申请号 JP19890258814 申请日期 1989.10.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 FUJIWARA NAOYOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址