| 发明名称 |
OBSERVING APPARATUS FOR SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03122514(A) |
申请公布日期 |
1991.05.24 |
| 申请号 |
JP19890258845 |
申请日期 |
1989.10.05 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
NOSE HIROYASU;KAWASE TOSHIMITSU;MIYAZAKI TOSHIHIKO;OGUCHI TAKAHIRO;YAMANO AKIHIKO |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01N37/00;G01Q40/02;G01Q60/10 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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