| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON OXIDE THIN FILM CAPACITOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03123084(A) |
申请公布日期 |
1991.05.24 |
| 申请号 |
JP19890258713 |
申请日期 |
1989.10.05 |
| 申请人 |
TOSOH CORP |
发明人 |
SAKAI NAOMICHI;OSADA HIRONARI;YAMAMURA HIROSHI |
| 分类号 |
H01G4/33;H01G4/06;H01G4/10;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/94 |
主分类号 |
H01G4/33 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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