| 发明名称 |
PRODUCTION OF THIN FILM AND DEVICE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03122274(A) |
申请公布日期 |
1991.05.24 |
| 申请号 |
JP19890258675 |
申请日期 |
1989.10.05 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
MIYAMURA KENRO;KATAGIRI YOSHITAKA |
| 分类号 |
C23C14/40;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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