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经营范围
发明名称
CONTINUOUS VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03122276(A)
申请公布日期
1991.05.24
申请号
JP19890260159
申请日期
1989.10.06
申请人
MITSUBISHI HEAVY IND LTD
发明人
TAGUCHI TOSHIO;OKITA HAJIME;MAKIHARA KATSUMI;KAMIKAWA SUSUMU
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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