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经营范围
发明名称
ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03122294(A)
申请公布日期
1991.05.24
申请号
JP19890260439
申请日期
1989.10.04
申请人
NEC CORP
发明人
TAKESHIRO SHINICHI
分类号
C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065
主分类号
C23F4/00
代理机构
代理人
主权项
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