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发明名称 LASER CVD EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH03120819(A) 申请公布日期 1991.05.23
申请号 JP19890260403 申请日期 1989.10.04
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHINO YOICHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/205;H01L21/285;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
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