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发明名称
VERFAHREN UND MITTEL ZUM GREIFEN UND BEFOERDERN VON SILIZIUMPLAETTCHEN.
摘要
申请公布号
DE3678812(D1)
申请公布日期
1991.05.23
申请号
DE19863678812
申请日期
1986.01.06
申请人
CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT S.A., ANDREZIEUX BOUTHEON, LOIRE, FR
发明人
REY-HERME, HENRY, F-42600 MONTBRISON, FR
分类号
H01L21/673;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H05K13/02;H05K13/00
主分类号
H01L21/673
代理机构
代理人
主权项
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