| 发明名称 |
REMOVING UNNECESSARY SUBSTANCE BY MEANS OF PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03120383(A) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
JP19900235496 |
申请日期 |
1990.09.05 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
JIEEMUSU EICHI NATSUPU;JIYOOJI EFU KARUNEI;FURANSHISU JIEI KARUNEI |
| 分类号 |
C01B7/01;B01J19/08;C23F4/00;C23G5/00;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
C01B7/01 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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