| 发明名称 |
MANUFACTURE OF OPTICAL DIFFRACTION GRATING AND FORMING DIE OF THE SAME, AND FOCUSING ION BEAM WORKING DEVICE USED THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03120501(A) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
JP19890257667 |
申请日期 |
1989.10.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
ITO FUMIKAZU;HIYOSHI YASUO |
| 分类号 |
G02B5/18;G02B3/08;H01S5/00 |
主分类号 |
G02B5/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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