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经营范围
发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03120359(A)
申请公布日期
1991.05.22
申请号
JP19890254451
申请日期
1989.09.29
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
KAWAI ATSUSHI
分类号
C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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