发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03119746(A) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 JP19890255245 申请日期 1989.10.02
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 IRITONO TAKUMI;NAKAJIMA NAGAAKI;YAMAZAKI HAJIME
分类号 H01L21/76;H01L21/265 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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