| 发明名称 |
MULTILAYERED STRUCTURE AND PLASMA-ACTIVATED REACTIVE CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION OF AN ELECTRICALLY CONDUCTIVE MULTICOMPONENT MATERIAL |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
EP0426218(A3) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
EP19900202664 |
申请日期 |
1990.10.05 |
| 申请人 |
PHILIPS PATENTVERWALTUNG GMBH;N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
GAERTNER, GEORG, DR. |
| 分类号 |
C23C16/00;C23C16/04;C23C16/14;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C28/00;C23C28/02;C23C30/00;(IPC1-7):C23C16/06 |
主分类号 |
C23C16/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
