发明名称 RF DISCHARGE SUPPRESSION IN LOW PRESSURE GAS DEVICES
摘要
申请公布号 EP0244474(B1) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 EP19860907067 申请日期 1986.10.28
申请人 HUGHES AIRCRAFT COMPANY 发明人 BRASKI, MICHAEL, T.;EVERETT, DWIGHT, H.;HAMACHER, JOHN, C.;MUELLER, J., SAMUEL;ROBUSTO, PAUL, F.;TILTON, RICHARD, A.
分类号 H01S3/03;H01S3/038;H01S3/0975 主分类号 H01S3/03
代理机构 代理人
主权项
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