发明名称 |
PROCESSO DE PRODUCAO DE UMA PELICULA DEPOSITADA E DE PRODUCAO DE UM DISPOSITIVO SEMICONDUTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
PT95436(A) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
申请号 |
PT19900095436 |
申请日期 |
1990.09.26 |
申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
OSAMU IKEDA;KAZUAKI OHMI;SHIGEYUKI MATSUMOTO |
分类号 |
H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C25D7/12 |
主分类号 |
H01L21/285 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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