发明名称 PROCESSO DE PRODUCAO DE UMA PELICULA DEPOSITADA E DE PRODUCAO DE UM DISPOSITIVO SEMICONDUTOR
摘要
申请公布号 PT95436(A) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 PT19900095436 申请日期 1990.09.26
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 OSAMU IKEDA;KAZUAKI OHMI;SHIGEYUKI MATSUMOTO
分类号 H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):C25D7/12 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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