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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号 CH391111(A) 申请公布日期 1965.04.30
申请号 CH19610006472 申请日期 1961.06.02
申请人 SIEMENS & HALSKE AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 GRABMAIER,JOSEF,DR.;RUMMEL,THEODOR,DR.
分类号 H01L21/18;H01L21/205;H01L29/00 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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