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发明名称 MANUFACTURE OF TWO-LAYER FILM CARRIER
摘要
申请公布号 JPH03120735(A) 申请公布日期 1991.05.22
申请号 JP19890257645 申请日期 1989.10.04
申请人 SUMITOMO METAL MINING CO LTD 发明人 NAGANAMI TAKESHI;HIROTA YOSHIHIRO;KUDO HIROKO
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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