| 发明名称 |
FABRICATION METHOD FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUITS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2209872(B) |
申请公布日期 |
1991.05.22 |
| 申请号 |
GB19880021635 |
申请日期 |
1988.09.15 |
| 申请人 |
* OKI ELECTRIC INDUSTRY CO LTD |
发明人 |
YOSHIHISA * OKITA |
| 分类号 |
H01L29/73;H01L21/285;H01L21/331;H01L29/732 |
主分类号 |
H01L29/73 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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