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经营范围
发明名称
WAFER DRYING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPH03116730(A)
申请公布日期
1991.05.17
申请号
JP19890254156
申请日期
1989.09.28
申请人
NEC YAMAGATA LTD
发明人
OKUYAMA SATORU
分类号
F26B5/08;H01L21/304
主分类号
F26B5/08
代理机构
代理人
主权项
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