ARSENIC DIFFUSION AND MANUFACTURE THEREOF,申请号JP19890254377-传众专利搜索

发明名称	ARSENIC DIFFUSION AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号	JPH03116827(A)	申请公布日期	1991.05.17
申请号	JP19890254377	申请日期	1989.09.29
申请人	SHIN ETSU CHEM CO LTD;FURUKAWA CO LTD	发明人	NAGATA AKIHIKO;KUBOTA YOSHIHIRO;KASHIDA SHU;USU YOSHIYUKI;SAITOU SHIGEAKI;MATSUEDA TOSHIHARU;MURANAKA HIDEYUKI
分类号	H01L21/225	主分类号	H01L21/225
代理机构		代理人
主权项
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