发明名称 MANUFACTURE OF ARSENIC DIFFUSION AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH03116826(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890254379 申请日期 1989.09.29
申请人 FURUKAWA CO LTD;SHIN ETSU CHEM CO LTD 发明人 USU YOSHIYUKI;SAITOU SHIGEAKI;MATSUEDA TOSHIHARU;MURANAKA HIDEYUKI;KUBOTA YOSHIHIRO;NAGATA AKIHIKO;HATANO ETSUO;IGUCHI MASAAKI
分类号 H01L21/223;H01L21/225 主分类号 H01L21/223
代理机构 代理人
主权项
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