发明名称 FOCUSING ION BEAM ANALYZER
摘要
申请公布号 JPH03116750(A) 申请公布日期 1991.05.17
申请号 JP19890253367 申请日期 1989.09.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 HARADA YOSHIKAZU
分类号 H01J37/28;H01L21/66 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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