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经营范围
发明名称
BIAS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03115566(A)
申请公布日期
1991.05.16
申请号
JP19890251895
申请日期
1989.09.29
申请人
HITACHI LTD
发明人
KUROKOME MATSUO;OKUYA KEN
分类号
C23C14/34;H01L21/285;H01L21/3205
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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