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发明名称 HALBLEITERVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE4006701(A1) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 DE19904006701 申请日期 1990.02.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD., SUWON, KR 发明人 KIM, SUNGTAE, SEOUL, KR;CHOI, SOOHAN, SUWON, KR
分类号 H01L21/8247;H01L21/02;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/04;H01L27/10;H01L27/108;H01L27/115;H01L29/51;H01L29/788;H01L29/792;H01L29/94 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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