发明名称 BLASKOPF EINER VORRICHTUNG ZUM WASCHEN VON HALBLEITERMATERIALIEN
摘要
申请公布号 DE4035786(A1) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 DE19904035786 申请日期 1990.11.10
申请人 AIGO, SEIICHIRO, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 AIGO, SEIICHIRO, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 B08B15/04;H01L21/00;H01L21/304 主分类号 B08B15/04
代理机构 代理人
主权项
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