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发明名称
BLASKOPF EINER VORRICHTUNG ZUM WASCHEN VON HALBLEITERMATERIALIEN
摘要
申请公布号
DE4035786(A1)
申请公布日期
1991.05.16
申请号
DE19904035786
申请日期
1990.11.10
申请人
AIGO, SEIICHIRO, TOKIO/TOKYO, JP
发明人
AIGO, SEIICHIRO, TOKIO/TOKYO, JP
分类号
B08B15/04;H01L21/00;H01L21/304
主分类号
B08B15/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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