发明名称
摘要
申请公布号 DE3909450(C2) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 DE19893909450 申请日期 1989.03.22
申请人 KERNFORSCHUNGSZENTRUM KARLSRUHE GMBH, 7500 KARLSRUHE, DE;SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 BECKER, ERWIN WILLY, PROF. DR., 7500 KARLSRUHE, DE;BLEY, PETER, DR., 7514 EGGENSTEIN-LEOPOLDSHAFEN, DE;HOFMANN, FRITZ-WALTER, DR.;KNUEPFER, WOLFGANG, DR., 8520 ERLANGEN, DE;KUHN, HERBERT, 8521 HESSDORF, DE
分类号 G03F7/00;G03F7/039;G21K4/00 主分类号 G03F7/00
代理机构 代理人
主权项
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