发明名称 METROLOGICAL APPARATUS AND METHOD OF CALIBRATING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH03115902(A) 申请公布日期 1991.05.16
申请号 JP19900165510 申请日期 1990.06.22
申请人 RANK TAYLOR HOBSON LTD 发明人 IAN KAARU BIYUARINGU;JIYON DEBITSUTO GARATSUTO;POORU JIEIMUZU SUKOTSUTO
分类号 G01B7/00;G01B7/28;G01B7/34 主分类号 G01B7/00
代理机构 代理人
主权项
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