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经营范围
发明名称
THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH03115568(A)
申请公布日期
1991.05.16
申请号
JP19890249229
申请日期
1989.09.27
申请人
ISHIKAWAJIMA HARIMA HEAVY IND CO LTD
发明人
HIRAI MASAHIKO;SHIMOYAMA TOSHIYUKI
分类号
C23C14/46
主分类号
C23C14/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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