发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH03114254(A) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 JP19890252798 申请日期 1989.09.28
申请人 NEC CORP 发明人 SASAKI SHOICHI
分类号 H01L21/76;H01L21/762;H01L27/08;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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