发明名称 RETAINING JIG FOR QUARTZ GLASS WAFER BOAT
摘要
申请公布号 JPH03114223(A) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 JP19900099800 申请日期 1990.04.16
申请人 SHINETSU SEKIEI KK 发明人 INAGI KYOICHI;KIMURA HIROSHI;NAKAMURA KAZUO;KENMOCHI KATSUHIKO
分类号 H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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