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发明名称 METHOD OF DETERMINING RELAXATION TIME OF UNBALANCED EXCITATION
摘要
申请公布号 SU1581138(A1) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 SU19884428166 申请日期 1988.05.20
申请人 FIZIKO-TEKHNICHESKIJ I NIZKIKH TEMPERATUR AN USSR 发明人 KULIK I.O.,SU;YANSON I.K.,SU;BALKASHIN O.P.,SU;PILIPENKO YU.A.,SU;KULIK I.I.,SU
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
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