发明名称 HIGH FREQUENCY INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 JPH03114130(A) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 JP19890253508 申请日期 1989.09.28
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 UCHIYAMA TADASHI;SAKATA KENICHI
分类号 G01N27/62;H01J49/02;H01J49/12;H01J49/26 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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