发明名称 A SECONDARY ION MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号 EP0179716(B1) 申请公布日期 1991.05.15
申请号 EP19850402021 申请日期 1985.10.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORPORATION 发明人 SUZUKI, TOSHIKO C/O HIGH-TEC.RESEARCH LAB.
分类号 H01J37/252;G01N23/225;G01Q30/06;H01J37/256;H01J49/02;H01J49/14;H01J49/26 主分类号 H01J37/252
代理机构 代理人
主权项
地址