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发明名称
A SECONDARY ION MASS SPECTROMETER
摘要
申请公布号
EP0179716(B1)
申请公布日期
1991.05.15
申请号
EP19850402021
申请日期
1985.10.18
申请人
KAWASAKI STEEL CORPORATION
发明人
SUZUKI, TOSHIKO C/O HIGH-TEC.RESEARCH LAB.
分类号
H01J37/252;G01N23/225;G01Q30/06;H01J37/256;H01J49/02;H01J49/14;H01J49/26
主分类号
H01J37/252
代理机构
代理人
主权项
地址
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