| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR OPTICALLY DETERMINING DEFECTS IN A SEMICONDUCTOR MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0211590(B1) |
申请公布日期 |
1991.05.15 |
| 申请号 |
EP19860305777 |
申请日期 |
1986.07.28 |
| 申请人 |
AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY |
发明人 |
CARVER, GARY ERNEST |
| 分类号 |
G01N21/88;G01N21/00;G01N21/17;G01N21/63;G01N21/95;G01N21/956;G01R31/265;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/88 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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