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经营范围
发明名称
GAS FEEDER
摘要
申请公布号
JPH03112891(A)
申请公布日期
1991.05.14
申请号
JP19890250024
申请日期
1989.09.26
申请人
CANON INC
发明人
MIKOSHIBA NOBUO;TSUBOUCHI KAZUO;EKI KAZUYA
分类号
C30B25/14;H01L21/205
主分类号
C30B25/14
代理机构
代理人
主权项
地址
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