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发明名称 High energy beam-sensitive copolymer
摘要
申请公布号 US5015558(A) 申请公布日期 1991.05.14
申请号 US19890391035 申请日期 1989.08.09
申请人 SOMAR CORPORATION 发明人 OCHI, HIDEO;KITAORI, TOMOYUKI
分类号 C08F212/14;C08F12/00;G03F7/038 主分类号 C08F212/14
代理机构 代理人
主权项
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