发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH03113336(A) 申请公布日期 1991.05.14
申请号 JP19890252593 申请日期 1989.09.28
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 MIYAJI NOBUO
分类号 G01L9/04;G01L9/00 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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