| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SINGLE CRYSTAL THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03112133(A) |
申请公布日期 |
1991.05.13 |
| 申请号 |
JP19890251359 |
申请日期 |
1989.09.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HASUNUMA MASAHIKO;KANEKO HISAFUMI;KAWANOUE TAKASHI;KOMATSU SHUICHI;SAWABE ATSUHITO |
| 分类号 |
C30B25/14;H01L21/28;H01L21/285 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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