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发明名称 VACUUM TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03111575(A) 申请公布日期 1991.05.13
申请号 JP19900157144 申请日期 1990.06.15
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 IWATA TERUO
分类号 B01J3/00;B01J3/02;C23C14/00;C23C14/22;C23C16/44 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
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