发明名称 |
FORMATION OF DEPOSITED FILM |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH03111567(A) |
申请公布日期 |
1991.05.13 |
申请号 |
JP19890250013 |
申请日期 |
1989.09.26 |
申请人 |
CANON INC |
发明人 |
ICHIKAWA TAKESHI;SHINDO HISASHI;IKEDA ATSUSHI;OMI KAZUAKI;MATSUMOTO SHIGEYUKI |
分类号 |
C23C16/18;C23C16/20;H01L21/3205;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C16/18 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|