发明名称 在液体中处理后乾燥基质之方法及装配
摘要 一种处理诸如矽晶片(1)之方法及装配,其中将基质在液体(3)之浴(2)中浸渍一段时间,然后慢慢地将其取出,使得几乎所有之液体量存能留存于浴(2)中。根据本发明,基质(1)电液(3)中直接经由具外喷嘴(18)之导管(17)与不凝结于基质上之蒸气接触,形成蒸气之物质可与液体混溶,产生一表面张力较液体表面张力为低之混合物。已发现基质(1)上随后未残留有机或金属残余物之乾痕或其他之污痕。
申请公布号 TW158052 申请公布日期 1991.05.11
申请号 TW078107750 申请日期 1989.10.11
申请人 飞利浦电泡厂 发明人 安迪瑞恩.法兰西寇斯.马利.李纳瑞斯;杰昆斯.朱利.凡.欧提尔
分类号 F26B 主分类号 F26B
代理机构 代理人 陈长文 台北巿敦化北路二○一号七楼
主权项 1﹒一种处理基质之方法,其中将基质于含液体之浴中浸溃若干时间,然后缓缓地将其取出,使得全部量之液体均留存于浴中,该方法之特征为基质由液中取出,即直接与一不凝结于基质上之物质之蒸气接触,前述物质与液体可混溶,且当混合后可产生表面张力较原液体为低之混合物。2﹒根据申请专利范围第1项之方法,其特征为使用有机溶剂作为可与液体混溶之物质。3﹒根据申请专利范围第2项之方法,其特征为所用有机溶剂在水中之溶解度高于1克/升,且蒸气压介于25至25,000巴间。4﹒拫据申请专利范围第3项之方法,其特征为使用乙基乙二醇、1—丙醇、2—丙醇及四氢喃作为有机溶剂。5﹒根据申请专利范围第4项之方法,其特征为使用2—丙醇作为有机溶剂。6﹒根据上述申请专利范围中任一项之方法,其特征为基质以下列方式与蒸气接触:蒸气与载气混合,且此混合物于液体上流过。7﹒根据申请专利范围第6项之方法,其特征为当基质由液中取出时,最后离开液体之部份于离开液体时藉一刀型元件予以支撑。8﹒根据申请专利范围第7项之方法,其特征为基质经由刀型元件而由液中推升。9﹒进行根据申请专利范围第1项之方法之一种装配,该装配设有一将基质由液中推升之推升元件,且装有于液上扣住乾基质之装置,其特征为该装配更设有具外喷嘴之气体导管,可在基质离开液体时,使立即与不凝结于基质上之蒸气接触,形成该蒸气之物质系可与液体混溶者,且当混合后可产生表面张力较原液体为低之混合物。10﹒根据申请专利范围第9项之装配,其特征为其更装有一刀型元件,当基质由液中推时,该刀型元件支持最后离开液体之基质部份。11﹒根据申请专利范围第10项之装配,其特征为刀型元件设有推升元件,使基质可藉刀型元件由液中推升。12﹒根据申请专利范围第11项之装配,其特征为刀型元件由石英玻璃制成,且其顶角小于100。图示简单说明图1为根据本明装配之纵剖面图。图2为前述装配沿Ⅰ-Ⅰ线之剖面图图3一6为藉图1及图2所示装配进行根据本发明方法之数个图示步骤。
地址 荷兰