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发明名称 DEPOSITION OF FILM
摘要
申请公布号 JPH03110842(A) 申请公布日期 1991.05.10
申请号 JP19890250020 申请日期 1989.09.26
申请人 CANON INC 发明人 MATSUMOTO SHIGEYUKI;IKEDA ATSUSHI;OMI KAZUAKI
分类号 C23C16/04;C23C16/06;C23C16/16;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205 主分类号 C23C16/04
代理机构 代理人
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