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发明名称 PROCEDE DE TRAITEMENT D'EFFLUENTS GAZEUX PROVENANT DE LA FABRICATION DE COMPOSANTS ELECTRONIQUES ET APPAREIL D'INCINERATION POUR SA MISE EN OEUVRE
摘要
申请公布号 FR2616884(B1) 申请公布日期 1991.05.10
申请号 FR19870008667 申请日期 1987.06.19
申请人 AIR LIQUIDE 发明人 IKUO HIRASE;DENIS RUFIN
分类号 B01D53/34;B01D53/38;B01D53/46;B01D53/68;B01D53/81;F23G7/06;H01L21/205;(IPC1-7):F23G7/06 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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