DRY ETCHING METHOD,申请号JP19890248552-传众专利搜索

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发明名称	DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号	JPH03109730(A)	申请公布日期	1991.05.09
申请号	JP19890248552	申请日期	1989.09.25
申请人	TOKUDA SEISAKUSHO LTD	发明人	NONAKA MIKIO
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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