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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03109736(A) 申请公布日期 1991.05.09
申请号 JP19890248752 申请日期 1989.09.25
申请人 SONY CORP 发明人 CHISHIMA KENJI
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/822;H01L27/04 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
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