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发明名称 SOI FORMATION
摘要
申请公布号 JPH03109752(A) 申请公布日期 1991.05.09
申请号 JP19890248373 申请日期 1989.09.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INOUE YASUAKI;AKIYAMA HAJIME;NISHIMURA TADASHI;YAMAGUCHI YASUO
分类号 H01L21/762;H01L21/02;H01L21/76;H01L27/00;H01L27/12 主分类号 H01L21/762
代理机构 代理人
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