发明名称 MANUFACTURE OF MIS-TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH03108763(A) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19890247303 申请日期 1989.09.22
申请人 SONY CORP 发明人 SUMI HIROBUMI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L23/52;H01L29/423;H01L29/43;H01L29/49;H01L29/78 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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