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发明名称 METHOD OF AND APPARATUS FOR SYNTHESIZING HARD MATERIAL
摘要
申请公布号 EP0423498(A3) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 EP19900117966 申请日期 1990.09.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SHIOMI, HIROMU, C/O ITAMI WORKS;FUJIMORI, NAOJI, C/O ITAMI WORKS;OTA, NOBUHIRO, C/O ITAMI WORKS;IMAI, TAKAHIRO, C/O ITAMI WORKS
分类号 C23C16/27;C23C16/34;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/50;H01J37/32;C23C16/26 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
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