发明名称
摘要
申请公布号 JPH0331673(B2) 申请公布日期 1991.05.08
申请号 JP19850225772 申请日期 1985.10.09
申请人 MITSUBISHI MATERIARU KK;NIPPON SHIRIKON KK 发明人 KONNO SHOICHI
分类号 C30B15/00;C30B15/20;H01L21/18;H01L21/208 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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