Position measuring device.

摘要

Bei dieser interferentiell arbeitenden Längen- oder Winkelmeßeinrichtung (M2) ist nur ein einziges Phasengitter (12) vorgesehen. Ein von einem Laser auf das Phasengitter (12) treffendes Strahlenbündel (L2) wird am Phasengitter (12) in die ± 1. Ordnung gebeugt. Die gebeugten Teilstrahlenbündel ± 1. Ordnung werden an Tripelspiegel (22, 32) reflektiert, am Phasengitter (12) nochmals gebeugt und paarweise zur Interferenz gebracht. Die Intensitätsmodulationen der Zweistrahlinterferenzen werden von Detektoren (42, 52, 62) in zueinander phasenverschobene elektrische Signale umgewandelt.